白光干涉儀是一種對光在兩個不同表面反射后形成的干涉條紋進行分析的儀器。其基本原理就是通過不同光學元件形成參考光路和檢測光路。
白光干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長(~10-7米)，所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無f比擬的。
白光干涉儀的日常維護：
1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內，防止振動，儀器搬動時，應托住底座，以防導軌變形。
2、光學零件不用時，應存放在清潔的干燥盆內，以防止發霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和y醚混合液輕拭。
3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應用T5精密儀表油潤滑。
4、使用時，各調整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。
5、導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態。
6、經過精密調整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉動。
更新時間：2022-07-20
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三坐標測量儀
