微觀世界是一個極其微小卻又無比豐富的領域。在材料科學中，材料的性能往往取決于其微觀結構，如晶體的排列方式、原子的分布等。微觀層面的信息對于科學研究和技術發展至關重要，了解這些微觀特征，能夠幫助科學家們設計出更優異的材料，應用于航空航天、電子設備等眾多領域。

然而，要深入探究微觀世界，工具是非常重要的。近年來，掃描電鏡相關話題熱度持續攀升，尤其是在材料科學和生命科學等領域的應用受到了廣泛關注。掃描電鏡作為一種能夠提供高分辨率微觀圖像的儀器，在材料表征、生物樣本觀察等方面發揮著不可替代的作用。

CEM3000系列臺式掃描電鏡概述

1、緊湊外觀，靈活放置

臺式掃描電鏡不像傳統的大型掃描電鏡那樣需要占據大量的空間。外型緊湊這一特點使其能夠放置在桌面上，大大地節省了空間。與立式電鏡相比，它不需要專門預留大量的空間來安置整個電鏡系統。這種緊湊性不僅方便在實驗室的常規桌面上使用，還使其能夠適應特殊環境，如手套箱、車廂等，為科研工作者提供了更多的使用場景選擇。

與立式電鏡對比除了空間優勢外，臺式掃描電鏡在特殊環境下的適應性更為突出。立式電鏡往往受到環境限制，而臺式電鏡其設計，能夠在一些較為狹窄或特殊的空間內正常工作。例如，在一些需要在移動車輛中進行即時檢測的場景，或者在有限空間的實驗室手套箱內進行微觀觀察時，臺式掃描電鏡都能展現出其優勢。這種靈活性為科研工作者提供了很大的便利。

2、強大功能，滿足多樣需求

（1）高分辨率成像

提供優于4nm（SE），優于8nm（BSE）@20kV的空間分辨率。

（2）快速抽放氣系統

采用的真空系統設計，具備快速抽放氣的功能。縮短用戶的等待時間，提高工作效率，還能更好地適應一些需要快速檢測的場景。

（3）高易用性操作

具有自動合軸、自動聚焦、自動消像散以及一鍵圖像增強等功能。用戶無需過多的專業知識和復雜的人工操作，就能快速獲得高質量的拍攝圖片。即使是初學者，也能在短時間內掌握電鏡的基本操作。

（4）大樣品倉設計（部分機型）

CEM3000A型號的電鏡在保證較小外型尺寸的同時，擁有比肩立式電鏡的大倉室。這個大樣品倉可以容納更大尺寸的樣品或多個常規尺寸的樣品，為一些需要對大尺寸樣品進行微觀分析的研究提供了便利。

（5）高抗振防磁性能

具有優秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B型號采用了特殊的復合抗振手段，將抗振性能提升到了新的高度。這種高抗振防磁性能確保了電鏡在復雜環境下仍然能夠穩定工作，為科研人員提供準確可靠的微觀圖像。

（6）可選配低真空系統

提供了可選配的低真空系統，用戶可以根據樣品的特性自由設定電鏡樣品倉內的真空度（倉內真空度低可達100Pa）。這使得該電鏡能夠適應更多種類的樣品，無論是對真空度要求較高的常規樣品，還是一些需要在低真空環境下觀察的特殊樣品，都能得到很好的觀測。

3、豐富的技術參數，保障性能

（1）電子槍與加速電壓

采用鎢燈絲的電子槍有良好的穩定性和發射性能。CEM3000加速電壓范圍為1 - 20kV，科研人員可以根據樣品的特性選擇合適的加速電壓。較低的加速電壓適合觀察一些對電子束敏感的樣品，避免過度損傷樣品；而較高的電壓則可用于穿透較厚的樣品或獲取更清晰的內部結構信息。

（2）放大倍數與探測器

電鏡的放大倍數范圍為電子圖：40 - 200,000×（可選配大圖拼接）。這一寬廣的放大倍數范圍使得它能夠適應從宏觀到微觀的不同觀測需求。在低放大倍數下，可以觀察樣品的整體形態；而在高放大倍數下，則可以深入探究樣品的微觀結構細節。大圖拼接功能進一步擴展了觀測視野，對于一些較大尺寸的樣品，可以通過拼接圖像獲得完整的微觀形貌。同時，該系列電鏡標配二次電子探頭和背散射電子探頭（四象限高分辨探頭）。二次電子探頭主要用于獲取樣品表面的形貌信息，它對樣品表面的起伏和粗糙度較為敏感；背散射電子探頭則可以提供樣品內部的成分信息，通過分析背散射電子的強度和分布，可以了解樣品內部不同元素的分布情況。兩種探頭的結合使用，為全面分析樣品提供了有力的手段。

（3）真空系統與樣品臺

如前所述，真空系統具有高真空和低真空兩種模式，不同機型的抽真空時間也有所不同。樣品臺的設計也各有特點，CEM3000A機型的自動軸包括X，Y，T，手動軸包括R，Z；CEM3000B機型的自動軸為X，Y，手動軸為R，Z。樣品臺的行程范圍也各有不同，這些設計保證了樣品臺的動作精度和高重復性，能夠準確地移動樣品到所需的觀測位置。

應用領域廣泛，助力科學研究

在不同領域應用時，CEM3000系列臺式掃描電鏡通過搭配不同的探頭來接收不同的信號，同時利用自身的多種功能，如高分辨率、自動調節等，對樣品進行全面的分析。例如，在材料科學中，搭配二次電子探頭和背散射電子探頭，結合高分辨率成像功能，可以清晰地觀察到材料的微觀結構和成分；在生物醫療領域，搭配適合生物樣本的探頭，利用自動調節功能確保成像質量，從而更好地觀察生物樣本的微觀特征。