激光的高方向性、高相干性和高單色性特點，使其具有普通光源所沒有的優(yōu)勢。以激光干涉技術(shù)為核心，SJ6000激光干涉儀機床精度測試的分辨率可達納米級。采用的激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，并且干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免了干涉鏡受熱影響，保證了干涉光路穩(wěn)定可靠。

產(chǎn)品參數(shù)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品特點

1）測量精度高

2）檢測功能多

3）可設(shè)定補償方式，自動生成報表

4）具有動態(tài)測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能

5）內(nèi)置多種機床檢驗標(biāo)準(zhǔn)

6）可選擇手動或自動對波長進行環(huán)境補償

7）安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

激光干涉儀的主要的應(yīng)用之一就是機床精度檢測。SJ6000激光干涉儀可以通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量。其線性定位測量的精度是0.5ppm，可以滿足現(xiàn)在所有類型數(shù)控機床精度檢測，它可以棄普通車間進行應(yīng)用，具有更強的環(huán)境適應(yīng)能力，同時可進行動態(tài)高速測量，配以相應(yīng)元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等。

SJ6000激光干涉儀機床精度測試的案例

1、檢測五軸機床旋轉(zhuǎn)軸精度

測量系統(tǒng)：激光頭+角度干涉鏡+角度反射鏡

旋轉(zhuǎn)軸的角度反射鏡是安裝在轉(zhuǎn)臺組件上，該組件可以繞中心自身旋轉(zhuǎn)。在測量時，待測的旋轉(zhuǎn)軸向正方向旋轉(zhuǎn)某一個角度后，轉(zhuǎn)臺組件會沿著其逆方向精確地旋轉(zhuǎn)該角度，例如待測軸沿正方向旋轉(zhuǎn)15°，由于誤差的存在，則可能旋轉(zhuǎn)（15+ Δ）°；此時，轉(zhuǎn)臺組件會沿著逆方向精確旋轉(zhuǎn)，即沿負方向精確旋轉(zhuǎn) 15°，這樣就使得角度干涉鏡可以保持正對著激光頭。而誤差 Δ就是旋轉(zhuǎn)軸的定位誤差。

2、直線度測量

在直線度測量過程中，可以由直線度干涉鏡或直線度反射鏡運動所產(chǎn)生相對于運動軸的橫向移動來進行測量，但為了提高測量的準(zhǔn)確度和精度，一般都采用直線度干涉鏡相對于直線度反射的運動。SJ6000直線度測量可以對水平面和垂直面進行測量，這取決于直線度干涉鏡和反射鏡安裝的方法。

SJ6000激光頭出射后的激光由直線度干涉鏡以一定的小角度分為兩束，并入射到直線度反射鏡中。經(jīng)直線度反射鏡反射后，沿著新光路返回到直線度干涉鏡種，鏡直線度干涉鏡合束后返回激光頭的進光口，有光電探測器、分析器完成計數(shù)和測量。如機器軸直線度誤差的測量（數(shù)控機床、坐標(biāo)測量機等），由于導(dǎo)軌磨損、事故造成的導(dǎo)軌損壞以及地基不牢導(dǎo)致的導(dǎo)軌彎曲等，會對機器的定位、加工精度帶來直接的影響。直線度測量可以顯示出機器導(dǎo)軌的彎曲或直線度的情況，并可由生成的直線度誤差對機器的性能做出評價和補償。

測量機床直線度

3、垂直度測量

如機器軸垂直度誤差測量（數(shù)控機床、坐標(biāo)測量機等），SJ6000激光干涉儀垂直度測量是通過比較直線度值從而確定兩個標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度，即在同一基準(zhǔn)上對兩個標(biāo)稱正交軸分別進行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進行比較，得出兩個軸的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測量時反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸，在兩次測量過程中既不移動、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺測量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直，而不動直線度反射鏡。

典型情況下對于1.5米長的機器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇，因為傳統(tǒng)的實物基準(zhǔn)，如直角尺（金屬或大理石等）的長度一般局限于1米的范圍內(nèi)。

測量機床垂直度

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