應用

1、在數控機床檢定中的應用

中圖儀器SJ6000金屬平面激光干涉儀品牌可用于精密機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度的測量，為機床誤差修正提供依據。軟件內置10項常用機床檢驗標準。使用激光干涉儀檢測機床各項誤差并進行修正是傳統測量手段難以實現的技術，是大幅度提高數控機床的加工精度的關鍵措施。

2、在三坐標檢測中的應用

SJ6000激光干涉儀搭配其鏡組和輔件可檢測三坐標測量機的位移精度、直線度、垂直度。隨著當代制造業對加工速度的要求提升，三坐標測量機各結構件由于高速運行產生機構變形，導致的動態誤差不可忽略。使用激光干涉儀對三坐標測量機進行靜態誤差、動態誤差測量和補償，對提升測量精度具有重要意義。

3、在位移傳感器中的應用

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定為發展趨勢，其特點是反應速度快、測量精度高，是位移傳感器實現高精度校準的重要手段。

4、與其他鏡組配合的應用

SJ6000金屬平面激光干涉儀品牌與不同光學組件結合，可以實現距離、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數的測量，具有高精度、效率高。

測量方法

1、進行線性測量的一般步驟 ：

 （1）安裝設置激光干涉儀

 （2）將激光束與被測量的軸校準

 （3）啟動測量軟件，并輸入相關參數（如材料膨脹系數）。

 （4）在機床上輸入測量程序，啟動干涉儀測量，并記錄數據。

 （5）用測量軟件分析測量數據，生產補償文件。

2、光束快速準直步驟 ：

 （1）沿著運動軸將反射鏡與干涉鏡分開。

 （2）移動機床工作臺，當光束離開光靶外圓時停止移動。

垂直光束調整：

 （3）使用激光頭后方的指形輪使兩道光束回到相同的高度。

 （4）使用三腳架中心主軸上的高度調整輪使激光頭上下旋轉，直到兩道光束都擊中光靶中心。

水平光束調整：

 （5）用三腳架左后方的小旋鈕，調整激光頭的角度偏轉，使兩道光束彼此重疊。

 （6）用三腳架左邊中間的大旋鈕，調整激光頭的水平位置，使兩道光束擊中光靶的中心。

 （7）沿著運動軸重新開始移動機床工作臺。在看到光束移開光靶時再次停止。重復步驟3到6，直到完成整個軸向的光鏡準直。

 （8）達到軸的末端時，將機床移回，使反光鏡及線性反射鏡互相靠近。注：若其中一道光束離開光閘的光靶，是由于反光鏡側向偏移所造成。上下左右移動反光鏡，使從反光鏡返回的光束與干涉鏡的光束在光閘的光靶上互相重疊。

 重復步驟1到8，直到兩道光束在整個運動軸長度范圍內都保持在光靶的中心。

 （9）保持光束和測量軸準直。將光閘旋轉到其測量位置。當反光鏡沿著機床的整個運動長度移動時，檢查線性數據采集軟件中顯示的信號強度。